半導体製造ライン機器のメンテナンス保守・修復・管理サービス

半導体製造設備の修復延命保守サービス

半導体製作工程の紹介

マスク製造工程

1.回路・パターン設計

2.フォトマスク作成

■ウエハ製造工程

1.シリコンインゴットカッター

2.ウエハー研磨

■前工程

  1.ウエハー酸膜化(絶縁層)

  2.被膜形成(製造する製品に応じた被膜形成)CVD

3.フォトレジスト塗布

(ウエハー表面に均一に塗布し回路パターンの焼き付けの前処理)

4.露光・現像

(ウエハー上にフォトマスク縮小レンズを還し光源を照射、回路パタンを焼き付ける

 次に現像液で不要レジスト部を除去する

 ポジ式では感光ヶ所、ネガ式では感光しなかったヶ所を除去

.エッチング

 フォトレジストで形成されたパターンに沿って酸化膜・薄膜を除去する

 フォトレジストで覆われている部分は残る

6.レジスト剥離・洗浄

 残っているフォトレジストを剥離、ウエハー上の不純物を薬液で洗浄

.イオン注入

 不純物イオン(ドーバント)を注入、熱処理を施し活性化、半導体電気特性に有効な変化を与える

8.平坦化

 ウエハー表面を研磨し、平坦化フォトレジスト塗布から平坦化までの工程を繰り返し、必要な回路を作り込む

.電極形成

 チップ内部と外部を電気的に接続する導通線の形成

■後工程

  1.ダイシング

   ダイヤモンドブレードでウエハー所の回路要素ごとに分離チップ化

  2.ワイヤーボンディング

   リードフレーム上にチップを固定、金線で接続し配線を可能なモジュール化工程へ

  3.モールディング

   チップを外乱、衝撃等から保護する為樹脂でパッケージ化

  4.出荷検査

 

   対温度、対電圧試験、電気特性取試験、外観構造検査、を実施不良品を排除

半導体製造ライン設備の延命修復サービス

弊社サービスの特徴

半導体製造装置のライフサイクルをものづくり技術で延命サポートします。

お客様のご依頼を受けて、経験豊富な技術員が日本国内を中心に、迅速に対応します。

装置寿命が高く、部品入手が困難なユニットも、当社の技術力で修理・改造を行い、延命します。

 

主なサービス

定期点検・トラブル対応などのフィールドサービス、予防保全、常駐保守、装置解体オバーホール延命処置・移設作業、付帯設備サービス など。

 

半導体製造装置の安定稼働を維持し、ラインの安定した生産を支えます。

 

多様な条件に見合った最適なメンテナンスを提案し、サービスを通じてお客様のコスト低減と稼働率向上に貢献します。

 

リペアサービス

 

長年の経験(機械・電気・光学・熱力等)制御技術による信頼のリペア技術をご提供します。

 

<取扱分野>

 

プリント基板、各種電源ユニット、RF・光学関連機器、マスフローコントローラ、サーモ・モジュール熱交換器等

 

特殊サービス

■設備再生・既存設備延命サービス

 保守サービス/生産中止等の設備品相当・互換性能品を製作提供致します。

 要素部材を基から正すリメイク法による、適性能延命オーバーホール

半導体製造設備洗浄工程のオーバーホールを含む再生延命サービス

劣化ペルチェ(サーモ・モジュール)の交換再生

サーモ・モジュール駆動制御基板の修理・修復

互換性能サーモ・モジュールの新規製作と劣化モジュールとの載せ替え

PPパイプ 配管交換・溶接修復

保守契約切れ高額半導体生産設備の診断・再生・延命サービス

・保守期限が切れてメーカーに修理依頼ができなくなった。

 

・すでにサポート対応終了となった装置を使い続けている。

 

・古い装置のため部品交換や修理を依頼できない。

 

・新しい装置を購入する予算を確保できない。

 

・生産中止となった装置や海外製の装置部材でも、同等機能を持つ装置

 製作します。

各種温度センサーの点検・交換による設備延命

■白金抵抗体 MODEL:PT7-14J-Y1

■サーミスター MODEL:PB7-42H-K1

サーモ・モジュール/温度センサーによる精密温度コントローラ

固有の卓上恒温循環槽を提供致します。

高精度卓上恒温槽システム

 恒温サーキュレータとサーモ・モジュールコントローラで高精度卓上恒温槽を実現。

高精度卓上恒温槽のブロック図

卓上恒温槽(高性能温度特性試験機)制御温度精度1/100℃

恒温槽内部構造

固有の高精度恒温槽(±1/100℃)を製作提供。

卓上恒温槽XYステージ付きサンプル(左右YXZプローブ付き)

温度特性DATA取卓上精密恒温槽

恒温槽詳細ブロック図


恒温水サーキュレータユニット

互換性能サーモ・モジュール小型化ドライバー基板

恒温水サーキュレータユニットシステムの新規製作及び修復・修理・補修サービス

次世代半導体製造検査装置(結晶の欠陥検査)

多光子方式顕微鏡はレーザ走査型顕微鏡の一種で、 赤外領域のパルスレーザーによる多光子励起を行い、サンプルからの蛍光強度を観測します。 サンプルまたはレーザをスキャンして、高精度な三次元イメージングを得る事が出来るシステムで、ウエハー上のICチップ結晶欠陥検査を容易にするこれからのPm領域の検査器です。

■ お知らせ

半導体製造設備の延命保守

サービス開始

東北エリア鶴岡支店2月1日

山形県鶴岡市みどり町12-10

COREビル1F にて営業時間

AM9:00~PM17:00

Email:tsuruoka@yhtc.co.jp

TEL: 0235-35-0771

 

Contact us

E-mail: laser@yhtc.co.jp

 

We will be happy to respond to your inquiries.