半導体製造ライン機器のメンテナンス保守・修復・管理サービス

半導体製造装置設備機器のライフサイクルをものづくり技術で養った￤半導体レーザ制御技術｜定電流ＬＤ素子駆動｜サーモ・モジュールＰＷＭ制御駆動￤ＰＩＤ精密温度制御｜温度サポート各種センサー｜等々の総合科学（電気・機械・光学・熱力・化学）を駆使し、半導体製造設備システムの延命保守修復サービスを提供し、安心・安全な製造工程の維持を実現致します。

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半導体製造設備の修復延命保守サービス

半導体製作工程の紹介

■マスク製造工程

1.回路・パターン設計

2.フォトマスク作成

■ウエハ製造工程

1.シリコンインゴットカッター

2.ウエハー研磨

■前工程

　　1.ウエハー酸膜化（絶縁層）

　　2.被膜形成（製造する製品に応じた被膜形成）ＣＶＤ

3.フォトレジスト塗布

（ウエハー表面に均一に塗布し回路パターンの焼き付けの前処理）

4.露光・現像

（ウエハー上にフォトマスク縮小レンズを還し光源を照射、回路パタンを焼き付ける

　次に現像液で不要レジスト部を除去する

　ポジ式では感光ヶ所、ネガ式では感光しなかったヶ所を除去

５.エッチング

　フォトレジストで形成されたパターンに沿って酸化膜・薄膜を除去する

　フォトレジストで覆われている部分は残る

6.レジスト剥離・洗浄

　残っているフォトレジストを剥離、ウエハー上の不純物を薬液で洗浄

７.イオン注入

　不純物イオン（ドーバント）を注入、熱処理を施し活性化、半導体電気特性に有効な変化を与える

8.平坦化

　ウエハー表面を研磨し、平坦化フォトレジスト塗布から平坦化までの工程を繰り返し、必要な回路を作り込む

９.電極形成

　チップ内部と外部を電気的に接続する導通線の形成

■後工程

　　1.ダイシング

　　　ダイヤモンドブレードでウエハー所の回路要素ごとに分離チップ化

　　2.ワイヤーボンディング

　　　リードフレーム上にチップを固定、金線で接続し配線を可能なモジュール化工程へ

　　３.モールディング

　　　チップを外乱、衝撃等から保護する為樹脂でパッケージ化

　　４.出荷検査

　　　対温度、対電圧試験、電気特性取試験、外観構造検査、を実施不良品を排除

半導体製造ライン設備の延命修復サービス

弊社サービスの特徴

半導体製造装置のライフサイクルをものづくり技術で延命サポートします。

お客様のご依頼を受けて、経験豊富な技術員が日本国内を中心に、迅速に対応します。

装置寿命が高く、部品入手が困難なユニットも、当社の技術力で修理・改造を行い、延命します。

主なサービス

定期点検・トラブル対応などのフィールドサービス、予防保全、常駐保守、装置解体オバーホール延命処置・移設作業、付帯設備サービスなど。

半導体製造装置の安定稼働を維持し、ラインの安定した生産を支えます。

多様な条件に見合った最適なメンテナンスを提案し、サービスを通じてお客様のコスト低減と稼働率向上に貢献します。

■リペアサービス

長年の経験(機械・電気・光学・熱力等)制御技術による信頼のリペア技術をご提供します。

＜取扱分野＞

プリント基板、各種電源ユニット、ＲＦ・光学関連機器、マスフローコントローラ、サーモ・モジュール熱交換器等

特殊サービス

■設備再生・既存設備延命サービス

　保守サービス/生産中止等の設備品相当・互換性能品を製作提供致します。

　要素部材を基から正すリメイク法による、適性能延命オーバーホール

半導体製造設備洗浄工程のオーバーホールを含む再生延命サービス

劣化ペルチェ（サーモ・モジュール）の交換再生

サーモ・モジュール駆動制御基板の修理・修復

互換性能サーモ・モジュールの新規製作と劣化モジュールとの載せ替え

PPパイプ配管交換・溶接修復

保守契約切れ高額半導体生産設備の診断・再生・延命サービス

・保守期限が切れてメーカーに修理依頼ができなくなった。

・すでにサポート対応終了となった装置を使い続けている。

・古い装置のため部品交換や修理を依頼できない。

・新しい装置を購入する予算を確保できない。

・生産中止となった装置や海外製の装置部材でも、同等機能を持つ装置

　を製作します。

各種温度センサーの点検・交換による設備延命

■白金抵抗体　MODEL:PT7-14J-Y1

■サーミスター　MODEL:PB7-42H-K1

サーモ・モジュール/温度センサーによる精密温度コントローラ

固有の卓上恒温循環槽を提供致します。

高精度卓上恒温槽システム

　恒温サーキュレータとサーモ・モジュールコントローラで高精度卓上恒温槽を実現。

高精度卓上恒温槽のブロック図

卓上恒温槽（高性能温度特性試験機）制御温度精度1/100℃

恒温槽内部構造

固有の高精度恒温槽（±１/１００℃）を製作提供。

卓上恒温槽XYステージ付きサンプル（左右YXZプローブ付き）

温度特性DATA取卓上精密恒温槽

オーダーメイド卓上恒温槽（詳細機構）

恒温槽詳細ブロック図

恒温水サーキュレータユニット

互換性能サーモ・モジュール小型化ドライバー基板

恒温水サーキュレータユニットシステムの新規製作及び修復・修理・補修サービス

次世代半導体製造検査装置（結晶の欠陥検査）

多光子方式顕微鏡は、レーザ走査型顕微鏡の一種で、赤外領域のパルスレーザーによる多光子励起を行い、サンプルからの蛍光強度を観測します。サンプルまたはレーザをスキャンして、高精度な三次元イメージングを得る事が出来るシステムで、ウエハー上のICチップ結晶欠陥検査を容易にするこれからのPm領域の検査器です。