半導体製造用薬品液(エッチング/コーティング液等)恒温循環システム   |Circulator|Circulator|Circulator|Circulator|Circulator|

 半導体製造ラインに於いて、製造上金属イオンを含む溶液が生成され、この金属イオンを含む溶液が外部に漏れると回収が困難と成り環境破壊を招く事に成る為、インライン方式の加熱及び冷却システムをサーモモジュールを用い実現し、製造ラインで用います薬剤を隔離し、恒温溶液として直接薬剤を循環させるシステムとして提供し、安全安心な半導体製造ラインシステムの構築を、お客様と共に、創り上げて参ります。

純水恒温供給・循環システム。(純水温度制御帯域20℃~100℃)

 

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