半導体製造洗浄プロセスラインシステムにおける要素技術

※ ペルチェを用いた精密温度コントロールによる恒温洗浄循環液システムの提供。

※ ナノバブル発生器を組み込んだ洗浄システム。

※ 【仕様】PWM / PID制御方式サーモモジュール精密コントローラ

 

弊社への問い合わせ

 E-mail:laser@yhtc.co.jp

より、対応させて戴きます。尚、TEL,FAXでの対応は、控えさせて戴きます。