半導体製造洗浄プロセスラインシステムにおける要素技術

※ ペルチェを用いた精密温度コントロールによる恒温洗浄循環液システムの提供。

※ ナノバブル発生器を組み込んだ洗浄システム。

※ 【仕様】PWM / PID制御方式サーモモジュール精密コントローラ

 

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