OPTディバイス、半導体素子等の温特テスト用卓上恒温槽の製作

卓上恒温槽

 本卓上恒温槽のシステム構成は、恒温チラー、温度コントローラと恒温槽から構成されます。恒温槽に付きましては、お客様がテスト対象とされるディバイスに見合ったオリジナル設計をさせて頂きます。つまり恒温槽部に付きましては、標準品が御座いません全てお客様と打ち合わせながら、製作を進めさせて戴きます。

 恒温槽は、恒温プレート部とペルチェ及びヒートシンクから構成され、ヒートシンク部には、恒温水が循環し、ペルチェからの放熱能力を補助する役割を担っている。

 卓上恒温槽システムブロック図

 光学ディバイス製造工程におけるトラッキング特性、研究開発作業での物性の 温度特性評価用に大変小型な卓上型の恒温槽です。恒温槽外部から光を入力し恒温槽内被測定物を 通過した光を恒温槽外部で受光可能な二重透過窓を装備。
槽内の温度は、50℃~+200まで対応いたします。温度制御精度1/100までの精度及び分解能を 確保することができます。
 本システム構築要素には、ペルチェ・ヒーター・温度センサー(サーミスター・白金)・チラー 等を用い、これらを弊社製温度コントロールシステムで制御しています。
 被測定物に合わせ恒温槽内の設計を承りますので、お気軽に弊社技術にご相談下さい。

 卓上恒温槽実績例(出荷実績122件)

恒温プレート部サンプル例

 薄いカラス、ウエハー等をバキューム吸着し、温度コントロールを実現。

超小型恒温槽治具

 外形寸法60×50×60mmに、空冷ファン、ヒートシンク、ペルチェ、サーミスター、及び窒素ガス封入カバーを装備し、±1/100℃を制御。


問い合わせ TEL:042-706-8970

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